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Una válvula de ángulo de alto vacío con válvula de escape inicial con tasa de flujo ajustable.
[Características]
· La válvula de escape inicial y la válvula de escape principal están integradas (válvula de control de tasa de flujo de dos pasos).
· Permite diseños de sistemas compactos y tuberías reducidas.
· Previene la turbulencia del polvo dentro de la cámara durante la evacuación.
· Evita que las bombas funcionen cuando están sobrecargadas.
· Su baja desgasificación permite su uso con una capacidad de bomba más pequeña y ayuda a reducir el tiempo de escape.
· No contiene metales pesados como Ni (níquel) o Cr (cromo).
· El bajo rendimiento de pulverización minimiza la contaminación por metales pesados de las obleas.
Número de Parte
Se muestra el número de parte configurado
Número de Parte |
---|
XLD-25 |
XLD-40 |
XLD-50-M9BA |
Cargando…
Tipo | Válvula de vacío accionada por aire | Aplicación | Artículo único en funcionamiento | Metodo de instalacion | Directo |
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Número de puertos | Válvula de 2 puertos | Tipos de cambio | 2 posiciones normalmente cerradas | Tipo de apertura de tubería | Brida |
Tipo de brida | KF | Tipo de sello | Sello de fuelle | Dirección del puerto piloto | Lado de la brida |
Rango de temperatura(°C) | 5 a 60 | Material de sellado | FKM 1349-80 | Cantidad de fuga(Pa · m 3/s) | Interno: 1.3 × 10-10 , Externo: 1.3 × 10-11 |
Tratamiento de superficie corporal | Externo: aluminio anodizado duro, interno: material base | Ubicación de cambio de sello | Ninguno | Calentador Sí/No | Ninguno |
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