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Interruptor de tipo compatible con clase de alto grado de vacío
Metrol
Interruptor de contacto compatible con clase de alto vacío 10-5 Pa.
[Características]
- Interruptor de posicionamiento para ambiente de alto vacío, fabricado únicamente con piezas compatibles con baja emisión de gases.
[Solicitud]
- Para detectar la presencia o ausencia de obleas semiconductoras en cámaras de vacío.
- Sustrato de vidrio para equipos de deposición de películas al vacío y equipos de vacío fotovoltaicos (PV).
- Para posicionar el sustrato de vidrio de equipos de deposición de películas al vacío para FPD, detectar el asiento de las bandejas de las máscaras y encontrar el origen de los portadores.
- Adoptado uno tras otro por los principales fabricantes de equipos de fabricación de semiconductores.
Días para el envío: | 8 Días o más |
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Marca |
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Tipo |
Forma del cuerpo principal |
Tipo de sección de contacto |
Ambiente |
Material del cuerpo |
Material de contacto |
Golpe de contacto S(mm) |
Tipo de punto de contacto |
Parte del cilindro OD D(mm) |
Rosca de montaje nominal M |
Cambiar el punto de funcionamiento P(mm) |
Repetibilidad |
Parte de contacto OD |
Marca | Metrol |
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Series de productos | Interruptor de tipo compatible con clase de alto grado de vacío |
Días para enviar | 8 Días o más |
Tipo | Tipo de trazo de pin |
Forma del cuerpo principal | Tipo tornillo |
Tipo de sección de contacto | Tipo de aguja |
Ambiente | Vacío |
Material del cuerpo | Acero inoxidable |
Material de contacto | Acero inoxidable |
Golpe de contacto S(mm) | 1.5 |
Tipo de punto de contacto | Punto de contacto normalmente abierto / Punto de contacto normalmente cerrado |
Parte del cilindro OD D(mm) | - |
Rosca de montaje nominal M | M5x0.5 (fino) |
Cambiar el punto de funcionamiento P(mm) | 0 ~ 0.3 |
Repetibilidad | 3 µm o menos |
Parte de contacto OD | ~φ2 |
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