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Interruptor de tipo compatible con clase de alto grado de vacío
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Interruptor de contacto compatible con clase de alto vacío 10-5 Pa.
[Características]
- Interruptor de posicionamiento para ambiente de alto vacío, fabricado únicamente con piezas compatibles con baja emisión de gases.
[Solicitud]
- Para detectar la presencia o ausencia de obleas semiconductoras en cámaras de vacío.
- Sustrato de vidrio para equipos de deposición de películas al vacío y equipos de vacío fotovoltaicos (PV).
- Para posicionar el sustrato de vidrio de equipos de deposición de películas al vacío para FPD, detectar el asiento de las bandejas de las máscaras y encontrar el origen de los portadores.
- Adoptado uno tras otro por los principales fabricantes de equipos de fabricación de semiconductores.
Número de Parte
Se muestra el número de parte configurado
- Descargue los detalles del producto
- No hay datos de CAD disponibles
| Número de Parte |
|---|
| GN-PT5M3A |
| GN-PT5M3A-R |
| GN-PT5M3B |
| GN-PT5M3B-R |
Cargando…
Información básica
| Tipo | Forma de carrera de pasador / Tipo de émbolos de resorte | Forma del cuerpo principal | Tipo de perno | Forma de la punta | Contacto R |
|---|---|---|---|---|---|
| Ambiente | Vacío | Material del cuerpo | Acero inoxidable 304 | Material de contacto | SUS HRC45 |
| Carrera(mm) | 1.5 | Nominal de hilo (M) | M5×0.5 | Repetibilidad | 0.003 mm |
| Fuerza de contacto(N) | 0.5 | Vida de precisión del punto de contacto(x 10K veces) | 300 | Diámetro de la punta | φ1.5 |
| Estructura de protección | IP40 | LED | Ninguno | Resistencia al vacío compatible | 10 ^ -5 Pa |
| Temperatura de respaldo permisible | 120℃ |
Specification/Dimensions
-
Tipo de punto de contacto
- Tipo de contacto NO
- Tipo de contacto NC
-
Punto de operación(mm)
-
Dirección del cable
- Perpendicularidad
- Recto
-
tipo
- GN-PT5M3A
- GN-PT5M3A-R
- GN-PT5M3B
- GN-PT5M3B-R
Días para enviar
-
- Todos
- 8 día o menos
- 16 día o menos
- 26 día o menos
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